气瓶泄漏防护装置

在制造微电子元件、光学元件、分析仪器和其他专用提备的作多工艺步骤中都会用到 反应气体．其中许多反应性气体对工人的危将极大，其生产、储存、运输和最终使用都必须遵守严格的安全程序· 这些气体以压缩气体或加压饱和液体的形式在常温下用钢瓶每个储气罐部有一个或多个出口，这些出口通常都有螺，纹，用于安装流体配件，如截止阀、角阀等他连接件。泄漏可能发生在流体配件如O型密封圈，螺纹连接处，在许多情况下，这些泄漏都很小，（小于或等于50SCCM）但是即使小泄漏也会造成危险，并可能发展成较大的、潜在的灾难性泄漏。柔性树脂式卡箍式密封是不是可以